2022年9月，欧姆龙自动化有限公司新品【EtherCAT®从站单元NX-ECT101】正式发布。借助EtherCAT自律分散系统，提升半导体设备的附加价值！

EtherCAT是目前比较主流的且常见的组网方式。但是多数厂商采用的是多品牌、多控制器的网络控制方式。采用这种网络控制方式，往往面临如下课题：

■  由主控制器进行运动控制、安全控制等，会导致负荷加大，过程控制无法精准重复；

■  开发工作复杂，导致设计周期长。

这些课题，采用欧姆龙NX-ECT101的EtherCAT自律分散系统即可解决。

确保晶片过程控制精准重复

如果用主控制器进行所有控制，会导致负荷加大，执行缓慢，周期不稳定。

通过构建分散模块化系统，子系统分担过程控制以外的功能控制，从而确保主控制器的资源集中用于晶片过程控制。同时采用高速、低抖动且具有实时性的EtherCAT，确保过程控制精准重复。